電子廠潔凈室|無塵室施工工程

電子廠潔凈室|無塵室施工工程選擇潔凈室施工方案的系統化決策框架及實施要點，結合精密電子行業規范與典型案例分析：

一、電子廠潔凈室|無塵室施工工程明確核心工藝參數

?潔凈等級匹配?

按生產工藝需求確定ISO等級：如半導體光刻需千級（ISO 5），SMT貼片適用萬級（ISO 6），普通電子組裝可放寬至十萬級（ISO 7）。

通過換氣次數控制顆粒物濃度，例如千級潔凈室換氣次數≥300次/小時，高效過濾器需覆蓋≥80%頂棚面積。

?環境控制指標?

溫濕度設定：半導體車間溫度22±2℃、濕度45±5%，PCB車間可放寬至24±1℃、濕度50±10%。

壓差梯度：潔凈區與非潔凈區壓差≥5Pa，不同等級區之間≥3Pa。

二、關鍵系統設計選擇

?空氣凈化系統?

采用三級過濾（初效G4+中效F8+高效H13）組合，半導體車間需增加化學過濾器處理酸性氣體。

氣流組織優先下送上回垂直層流，FFU覆蓋率≥60%時，潔凈度穩定性提升30%。

?防靜電與耐腐蝕處理?

地面采用防靜電環氧自流平（電阻值1×10^6~1×10^9Ω）或PVC卷材，墻面使用抗靜電彩鋼板（表面電阻≤1×10^9Ω）。

酸堿廢氣排放管道采用316L不銹鋼，焊接氦檢漏率≤1×10^-9 Pa·m3/s。

三、電子廠潔凈室|無塵室施工工程材料與施工工藝優化

?類別??優選方案??技術指標?

圍護結構 50mm防火巖棉彩鋼板 防火1級，隔音≥30dB

門窗 雙層中空玻璃+氣密膠條 漏風率≤0.1m3/(h·m2)

管道安裝 鍍鋅鋼板風管+PEF阻燃保溫 風管漏風率≤1%

地面施工 環氧自流平分層澆筑 平整度≤2mm/2m

四、電子廠潔凈室|無塵室施工工程施工過程控制要點

?模塊化施工流程?

分32個單元同步施工，彩鋼板安裝誤差≤±3mm，吊頂板拼接縫≤2mm。

預埋管線完成后再進行凈化裝修，減少交叉污染風險。

?潔凈管控措施?

設置預清潔區，彩鋼板入場前用異丙醇擦拭，施工人員穿戴連體防塵服。

動態監測懸浮粒子數，施工期間顆粒物濃度不超過設計值的30%。

五、成本與能效平衡策略

?設備選型優化?

空調系統采用變頻控制+熱回收裝置，綜合能效比（EER）提升至4.3，節能22%。

照明系統選用LED平板燈，功率密度≤8W/㎡，壽命≥5萬小時。